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半導體晶圓噴光刻膠一體機
  • 所屬品牌：
    歐力克斯OLKS
  • 產(chǎn)品簡介：
    產(chǎn)品名稱：半導體晶圓噴光刻膠一體機 產(chǎn)品介紹： 歐力克斯自主設(shè)計研發(fā)的半導體晶圓噴光刻膠一體機，具有性價比高、靈活性強、產(chǎn)能效率高等優(yōu)勢；采用壓電噴射閥噴射速度快，點膠精度高，最小點徑0.2mm，最小線徑0.3mm，一致性高，非接觸，避免針頭碰撞工件；極小點膠量，適用于更緊湊的空間。歐力克斯半導體精密點膠設(shè)備可以更好的滿足半導體行業(yè)點膠工藝需求。 點膠工藝： 芯片的固定-紅膠、電氣的連接固定-銀漿、固定MEMS器件-硅膠、COB封裝防護-環(huán)氧膠，芯片錫球保護（Underfill）-環(huán)氧膠等
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產(chǎn)品介紹

半導體點膠機

晶圓點膠機

晶圓噴膠機

技術(shù)特點

  • 晶圓點膠機，伺服絲桿，龍門結(jié)構(gòu)，雙Y、雙X軸，運行穩(wěn)定；搭載自研壓電式噴射閥，大視野視覺相機，點膠精度高

  • 機械手搬運機構(gòu)，采用上銀4軸微小型機器人進行搬運

  • 機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中，自動關(guān)閉艙門在真空環(huán)境中利用光照烘烤固化

芯片噴膠機

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歐力克斯售后服務(wù)

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產(chǎn)品特性
晶圓點膠機，伺服絲桿，龍門結(jié)構(gòu)，雙Y、雙X軸，運行穩(wěn)定
搭載自研壓電式噴射閥，大視野視覺相機，點膠精度高
機械手搬運機構(gòu)，采用上銀4軸微小型機器人進行搬運
機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中，自動關(guān)閉艙門在真空環(huán)境中利用光照烘烤固化