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自動化解決方案

半導體晶圓噴光刻膠一體機

所屬品牌：

歐力克斯OLKS

產(chǎn)品簡介：

產(chǎn)品名稱：半導體晶圓噴光刻膠一體機產(chǎn)品介紹：歐力克斯自主設計研發(fā)的半導體晶圓噴光刻膠一體機，具有性價比高、靈活性強、產(chǎn)能效率高等優(yōu)勢；采用壓電噴射閥噴射速度快，點膠精度高，最小點徑0.2mm，最小線徑0.3mm，一致性高，非接觸，避免針頭碰撞工件；極小點膠量，適用于更緊湊的空間。歐力克斯半導體精密點膠設備可以更好的滿足半導體行業(yè)點膠工藝需求。點膠工藝：芯片的固定-紅膠、電氣的連接固定-銀漿、固定MEMS器件-硅膠、COB封裝防護-環(huán)氧膠，芯片錫球保護（Underfill）-環(huán)氧膠等

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品介紹

半導體點膠機

晶圓點膠機

晶圓噴膠機

技術(shù)特點

晶圓點膠機，伺服絲桿，龍門結(jié)構(gòu)，雙Y、雙X軸，運行穩(wěn)定；搭載自研壓電式噴射閥，大視野視覺相機，點膠精度高
機械手搬運機構(gòu)，采用上銀4軸微小型機器人進行搬運
機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中，自動關(guān)閉艙門在真空環(huán)境中利用光照烘烤固化

芯片噴膠機

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歐力克斯售后服務

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產(chǎn)品特性

晶圓點膠機，伺服絲桿，龍門結(jié)構(gòu)，雙Y、雙X軸，運行穩(wěn)定晶圓點膠機，伺服絲桿，龍門結(jié)構(gòu)，雙Y、雙X軸，運行穩(wěn)定

搭載自研壓電式噴射閥，大視野視覺相機，點膠精度高搭載自研壓電式噴射閥，大視野視覺相機，點膠精度高

機械手搬運機構(gòu)，采用上銀4軸微小型機器人進行搬運機械手搬運機構(gòu)，采用上銀4軸微小型機器人進行搬運

機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中，自動關(guān)閉艙門在真空環(huán)境中利用光照烘烤固化機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中，自動關(guān)閉艙門在真空環(huán)境中利用光照烘烤固化

應用行業(yè)

產(chǎn)品視頻